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応用物理学会

ALD用Sr化合物: Sr[C5(CH3)52の昇華圧

Sublimation pressure of Bis(pentamethylcyclopentadienyl)strontium

はじめに

従来、CVD,ALD用Sr原料としてSr(dpm)2が検討されてきたが、蒸気圧が低く、量産用原料としては供給上問題があった。今回、Sr(dpm)2より蒸気圧が高く、酸化剤(水,O2,O3等)との反応性が高く、ALD法に好適な、ビス(ペンタメチルシクロペンタジエニル)ストロンチウム:Sr[C5(CH3)52(以下SrCp*2と表す。エーテルやTHFが配位していない)の量産供給が可能となったので、昇華圧測定を行った。

実験及び結果

SrCp*2は融点207℃の白色〜淡黄色固体であるがトルエンには、175g/Lと易溶であり、溶液気化法で定量供給が出来る。

この化合物の昇華圧を実際のCVDに近い気体飽和法によって測定を行った。試料18gを5φの球形多孔質アルミナに担時させ、全圧10Torrでキャリアガスを流し、昇華物をトラップ゚に回収し、そのSr量をICP-AESにより定量して昇華圧を求めた(Fig.1)。

これより、0.1Torrの圧力を与える温度は168℃であり、昇華熱ΔH = 31.2kcal/molであった。

また、ベンゼン凝固点降下法により求めた分子量は352であり、会合度は0.98であり、単量体として存在していることがわかった。

TG-DTA(Fig.2)よりほぼ全量が気化しており、260℃位までは短時間での熱分解は確認されなかった。





第54回春応物予稿集