FAQ

製品の取扱いについて

MOD材料で酸化物膜を作って見たいのですが、膜の作り方と液の使い方を教えてください。

酸化物の膜を作るには、まず基板が必要です。
Si基板、ガラス基板、石英基板、アルミナ基板、または、棒状のものや管状のものでもOKです。

塗り方は,基板を回転させその上から液を滴下し、遠心力で均一な膜を作るスピンオン法。基板を液に漬け引き上げ膜を作るディップ法。霧状にして基盤に吹き付けるスプレー法などがあります。

一番簡単な方法として、基板に液を数的たらし均一に広げた後、垂直に立て余分な液を吸い取り膜を着けるポッティング法があります。乾燥後550度以上で10分以上焼成を行ってください。


スピンオンコート法 ディップコート法
スピンオンコート法 ディップコート法