FAQ

製品について

CVD材料とは何ですか?簡単な説明と取り扱い注意事項を教えてください。

【ご紹介】
CVDに使用される材料の代表的なものとして、金属有機化合物の一種である金属アルコキシドがあります。金属アルコキシドは、少なくとも一つの M−O−C(M:金属を表す)結合を持っており、アルコールのR−O−HのHが金属と置換したアルコール誘導体とも見なせます。
アルコキシドの他に、CVD材料として使用される金属の有機誘導体としては、次のようなものがあります。


  • M−C結合を有するアルキル金属
  • M−O−C結合を有する金属β−ジケトナート、金属のカルボン酸塩
  • M−N結合を有する金属ジアルキルアミド M(NR)

単純な一つの金属種からなる金属アルコキシドでも、金属元素の種類とその価数の違い、アルコキシ基の種類とその組み合わせの違いにより、非常に多くの化合物の可能性があり、さらに二種の金属からなるダブルアルコキシドや他の有機基で一部置換されたものを含めると膨大な数になります。その中で、CVD用の材料として使用されるものは、揮発性を有するものが該当します。

当社では、長年の合成、蒸留、昇華などの知見に基づき、周期表にあるほとんどの元素について種々のアルコキシ基のついた金属アルコキシド試薬を製造しており、その化合物数は約300あまりになります。

【お取り扱いの上で注意していただきたいこと】

  1. アルコキシド試薬は、加水分解しやすいので、空気中の湿気で分解してアルコールを放出し、酸化物や水酸化物に変質してしまいます。お取り扱いは、乾燥不活性ガス雰囲気中(乾燥窒素、アルゴンガス雰囲気中など)で行ってください。
  2. 熱、光、微量の酸素等で分解が促進されるものがあります。このようなときには、変色を起こす場合がほとんどです。容器は、溶封アンプルや漏れのないバルブつきの金属容器で、遮光して低温度で保管してください。
  3. 一般的に可燃性物質で、引火したり、水と激しく反応したりします。消防法の危険物にほとんどのものが該当します。
  4. 安全衛生法、化審法でほとんどが新規化学物質に該当します。また、毒物劇物取締法の毒物または劇物に該当するものもあります。人体への接触、吸入がないように、また環境への排出、廃棄には化合物毎によく調べて行うことが必要です。
  5. アルキル金属に比べて、一般的に蒸気圧が低く、毒性の低いものがほとんどですが、蒸気微粒子を接触吸入しないように密閉系で、ドラフト内で、保護具を着用の上お取り扱い下さい。

【ご要望を承ります】

CVDによる目的生成物の物性は、原料の金属アルコキシドの純度により影響を受けます。当社では、2N−8Nupの純度のものを製造しておりますが、より目的にかなうアルコキシド種を、より高純度に、ご使用用途に合わせて供給できるように検討させていただいています。
ご要望をいろいろとお聞かせいただき、お打ち合わせの機会をいただけますようお待ちしております。