FAQ

製品について

TEOSとは何ですか?

ハイメガからギガビット時代に平坦な膜成形原料が不可欠であり、 二酸化珪素膜用には珪酸エチル(TEOS)などの珪素有機化合物が利 用されています。

また、Naイオンの拡散阻止や流動性向上、膜の誘電率の調整を 目的として燐や硼素等の添加が行われ、燐源として正燐酸トリメチル (TMOP)等が、硼素源として硼酸トリメチル(TMOB)硼酸トリエチル(TEOB)等が、TEOSと一緒に用いられています。


(株)高純度化学研究所はTEOSのパイオニアですが、酸化珪素源 に限らず、酸化砒素、酸化アンチモン、酸化ゲルマニウム、酸化タンタル、 高・強誘電体膜形成用ソースの提供を通して目的に合わせた最適な物質を探し続けています。

様々な材料による成膜機構の解明、装置や製法との調和を通して次の時 代の方向付けをしています。
詳しい物性の紹介はこちらです。